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Modal Characteristics of Quartz Tuning Fork Wet Etching Morphology Based on Finite Element Method
编号：17
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更新：2026-09-11 22:42:32 浏览：11次
口头报告
报告开始：暂无开始时间（Asia/Shanghai）
报告时间：暂无持续时间
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摘要
针对非理想石英湿蚀形态对器件性能影响的研究不足，本文以Z切割石英音叉为主题。建立了不同蚀刻时间下的理想和非理想有限元模型，以系统分析蚀刻形态的演变及其对内在力学性质的影响。结果显示，目标模态频率通常随着刻蚀时间降低，相邻模态之间的间隔趋于缩短。通过有效刚性和有效质量分析，澄清了控制不同刻蚀阶段频率变化的主导机制。模态形状评估表明，刻蚀不对称几乎不会影响靶面内反相模态。应变能量分布分析为电极优化提供了参考。这些发现为石英MEMS器件的制造误差评估和结构优化提供了理论支持。
关键词
quartz tuning fork,non ideal morphology,modal analysis,finite element simulation
报告人
祥林 谭
student Xidian University稿件作者
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重要日期
-
会议日期
11月06日
2026
至11月08日
2026
-
10月15日 2026
初稿截稿日期
主办单位
IEEE Instrumentation and Measurement Society
承办单位
Sichuan University
联系方式
- Icsmd
- ic******@163.com
历届会议
-
2026年11月13日 中国 Chengdu
2026 International Conference on Sensing, Measurement & Data Analytics in the era of Artificial Intelligence (ICSMD) -
2025年11月21日 中国 Guangzhou
2025 International Conference on Sensing, Measurement & Data Analytics in the era of Artificial Intelligence -
2023年11月02日 中国 China
International Conference on Sensing, Measurement & Data Analytics in the era of Artificial Intelligence -
2023年11月02日 中国 Xi'an
2023 International Conference on Sensing, Measurement & Data Analytics in the era of Artificial Intelligence -
2022年11月30日 中国 Harbin
International Conference on Sensing, Measurement & Data Analytics in the era of Artificial Intelligence -
2021年10月21日 中国 Nanjing
2021 International Conference on Sensing, Measurement and Data Analytics in the era of Artificial Intelligence -
2020年10月15日 中国 Xi'an
International Conference on Sensing, Measurement and Data Analytics in the era of Artificial Intelligence
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